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poly-siliconSiNcomposite相关论文
NH3/SiH4流量比对多晶硅/氮化硅复合层电池光电性能的影响研究
SiN薄膜因为具有良好的减反射性质和钝化作用, 越来越广泛地应用于晶硅太阳电池的制造工艺中。用等离子体化学气相沉积(PECVD)法, ......
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